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Atomic Layer Deposition for Semiconductors - cover
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Atomic Layer Deposition for Semiconductors
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Atomic Layer Deposition for Semiconductors - cover

Descrizione


Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.
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Dettagli

2016
Paperback / softback
263 p.
Testo in English
235 x 155 mm
4219 gr.
9781489979438
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